| 授業方針・テーマ |
微細加工や薄膜形成，表面処理，環境浄化装置，医療や農業への応用など，プラズマの化学的特性を利用したプラズマ応用技術の重要性が増している。これらは，電子衝突を起点に生成されるラジカルやイオンの反応，固体表面との相互作用を機能的に応用したものである。本講義では，プラズマ応用を理解する上で重要となる原子衝突，分子衝突，プラズマ化学反応，表面過程について解説した後，代表的な応用技術や最近のトピックについて述べる。 |
習得できる知識・能力や授業の
目的・到達目標 |
プラズマ応用技術における，放電プラズマの基本的な理解 |
授業計画・内容
授業方法 |
１．概要説明
２．気体の絶縁破壊
３．原子衝突（衝突の定義，各種の衝突）
４．分子衝突（分子の構造，分子衝突と反応）
５．電子・イオンのエネルギー分布
６．プラズマ中での電子・イオンの動き（電磁界中の運動，ドリフトと拡散など）
７．プラズマの特性（プラズマ振動，デバイ遮蔽，シースなど）
８．気相中の化学反応
９．表面反応 （吸着，表面拡散，表面反応他）
１０．プラズマの計測
１１～１２．低気圧プラズマの生成とその応用（ドライエッチング，デポジションなど）
１３～１４． 大気圧プラズマの生成とその応用（環境応用，医療や農業への応用など）
１５．レポート課題解説 |
| 授業外学習 |
講義資料を予習することが望ましい。また，数回のレポートを課す予定である。 |
| テキスト・参考書等 |
教科書は指定しない。講義資料を準備する。
参考書："Principle of Plasma Discharges and Materials Processing", M. A. Lieberman 他著 (Wiley) |
| 成績評価方法 |
授業参加とレポートにより総合的に評価する。 |
質問受付方法
(オフィスアワー等) |
オフィスアワーは特に設定しませんが，直接質問したい場合は随時受付しますので，事前にメール等でアポイントメントをとってください。 |
特記事項
(他の授業科目との関連性) |
電磁気学の知識を前提とする。また，プラズマ工学，高電圧工学に関する学部の授業を通じて，基本的な知識を習得していることが望ましい。 |
| 備考 |
|
シラバス照会