| 授業方針・テーマ |
主として放電プラズマの基本的な考え方について講述する． |
習得できる知識・能力や授業の
目的・到達目標 |
気体中の電磁界下における荷電粒子の運動を基礎として，電磁界による荷電粒子の運動の制御，気体の絶縁破壊やその抑制，各種気体放電を用いたプラズマの発生とその特徴，プラズマを利用した先端応用技術を理解することを目的とする。 |
授業計画・内容
授業方法 |
【授業計画・内容】
1 ガイダンス：プラズマの概要と基礎事項
2 電離気体中の衝突現象(1)：速度分布関数
3 電離気体中の衝突現象(2)：衝突の種類
4 電離気体中の衝突現象(3)：原子・分子の構造
5 放電の開始条件：絶縁破壊条件（タウンゼント条件、ストリーマ条件）
6 放電の定常状態：タウンゼント放電、グロー放電、アーク放電等
7 放電用高電圧の発生と計測：直流高電圧，パルス電圧，高電圧や大電流の計測
8 デモ実験：衝撃電圧発生装置，各種光源他
9 プラズマの性質(1)：流体方程式と輸送係数
10 プラズマの性質(2)：デバイ遮蔽，シース
11 プラズマ中の振動と波動(1)：電磁波の復習
12 プラズマ中の振動と波動(2)：プラズマ中を伝搬する電磁波
13 プラズマの生成：各種方式によるプラズマ生成法
14 プラズマの応用技術(1)：半導体プロセス技術，光源技術
15 プラズマの応用技術(2)：エネルギーとしての応用
※授業方法は原則として対面方式だが，実施が難しい場合はオンラインで行う．デモ実験を実施できない場合は映像での公開に切り替えるか，または，応用技術の話題を拡張する．
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| 授業外学習 |
テキストや参考書，補足資料をよく読んで，次回の授業範囲を予習し，基本原理や公式，専門用語の意味等を理解しておくこと．また，授業時に指定された提出課題を行うこと． |
| テキスト・参考書等 |
テキスト： 八坂保能著，「放電プラズマ工学」，森北出版（2007）
参考書： 行村健編著，「放電プラズマ工学」，オーム社（2008）
畠山力三，飯塚哲，金子俊郎著，「プラズマ理工学基礎」，朝倉書店（2012）
補足資料： kibacoにアップロードする．
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| 成績評価方法 |
授業への関与，演習課題の提出および期末試験の結果を10%，30%，60%のウエイトで評価する．
※試験の実施が困難な場合は，レポート課題の提出をもってそれに替える． |
質問受付方法
(オフィスアワー等) |
原則として，毎週金曜日５時限をオフィスアワーに設定する．質問があれば，直接研究室（6-424）まで来ること．
※対面による実施が困難な場合は，メール等で対応する． |
特記事項
(他の授業科目との関連性) |
「基礎電磁気学」(2年次，前期，2単位)，「電磁気学」（2年次，後期，2単位），電磁波工学（3年次，前期，2単位） |
| 備考 |
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シラバス照会